연혁

2019

06   Flexible OLED Bake Oven용 히터 특허등록

05   S사 6G Bake Oven용 HP/CP 단독 공급

05   S사 8.6G Bake Oven용 HP/CP 단독 공급

03   V사(중국) 반도체 및 디스플레이 히터공급 협력업체 체결

2017

11   S사 6G Bake Oven용 HP/CP 양산

10   하이브리드 온도제어 시스템이 적용된 히터 조립체 특허등록

03   열전소자를 이용한 유체온도 조절장치 특허등록

03   S사 스텝 칠러용 Brazing 열교환기 개발 양산

01   I사 1500℃ Point Cell Heater 개발 납품

2014

11   OLED, MOCVD Heater 개발

03   기업부설연구소 설립

01   ESC 300mm 개발

2007

11   Asher용 Heater S사 공동개발

09   연구전담부서 설립, 부품소재 전문기업

06   사업장 이전(안산-안성)

2005

03   국외(Q사) New LCD Suspector Heater 수출

02   국외(C사) LCD Suspector Repair 수출

01   국외(T사) PVD/CVD Heater 개발 수출

2004

07   국내(K사) 반도체 Heater 양산

06   대만 Semicon박람회 LCD, PVD, CVD, Heater 출품

06   국내(T사) LCD 7.5세대 Heater 개발 납품

04   국외(유럽) 반도체 Heater 수출

01   국내(S사) LCD Bake Oven Hot Plate 개발 납품

2003

10   국외(S사) Asher용 Heater Table 개발 납품

09   사업장 이전 (화성-안산)

07   반도체 Heater 개발 생산

05   ISO KSA 9001 인증 획득

03   국내(H사) Burn-Wet Scrubber 개발 납품

2002

11   국내(H사) LCD Bake Oven 공급계약 체결

11   국내(S사) 유기 EL Bake Oven 공급계약 체결

09   NANO TECH 설립(경기도 화성) 법인 설립 반도체 공정 핵심부품 전문 제조업체