歴史

2019

06 Flexible OLED Bake Oven用ヒーター特許登録

05 S社6G Bake OvenのHP/ CP単独供給

05 S社8.6G Bake OvenのHP/ CP単独供給

03 V社(中国)半導体とディスプレイヒーター供給サプライヤー締結

2017

11   S社6G Bake OvenのHP/ CP量産

10   ハイブリッド温度制御システムが適用されたヒータ組立体の特許登録

03   熱電素子を利用した流体温度調節装置の特許登録

03   S社ステップチラーのBrazing熱交換器の開発、量産

01   I社1500℃Point Cell Heater開発納品

2014

11 OLED、MOCVD Heater開発

03 企業付設研究所設立

01 ESC300mm開発

2007

11 AsherのHeater S社の共同開発

09 研究専門部署設立、部品素材専門企業

06 事業場前(アンサン – 安城)

2005

03 国外(Q社)New LCD Suspector Heater輸出

02 国外(C社)LCD Suspector Repair輸出

01 国外(T社)PVD/ CVD Heater開発輸出

2004

07 国内(K社)半導体Heater量産

06 台湾のSemiconフェアLCD、PVD、CVD、Heater出品

06国内(T社)LCD7.5世代Heater開発納品

04 国外(欧州)半導体Heater輸出

01 国内(S社)LCD Bake Oven Hot Plate開発納品

2003

10 国外(S社)AsherのHeater Table開発納品

09 事業場前(火星 – 安山)

07 半導体Heater開発生産

05 ISO KSA9001

03 国内(H社)Burn-Wet Scrubber開発納品

2002

11 国内(H社)LCD Bake Oven供給契約を締結

11 国内(S社)有機EL Bake Oven供給契約を締結

09 NANO TECH設立(京畿道華城)法人設立半導体プロセスの核心部品の専門メーカー